臭氧以化學式來說明，即由三個同位素原子：氧（O）結合而構成一個分子（O3），當臭氧產生時，三個原子中第三個原子具有不斷地從其他兩個原子的結合中游離、破壞或逸出的性質，并在逸出時，藉當時的能量很快的產生強力氧化作用，氧化其他物質，更難得的是臭氧在氧化過程中，如無氧化反應物質時，即自行還原為氧氣，具達成目的后自行消失的優異特性（O3 ＝ O2 (氧氣) + O (初生氧)，當初生氧從臭氧中逸出游離時，藉當時的能量可產生(1)殺菌(2)脫臭(3)解毒(4)漂白等氧化作用。
臭氧因系輕度結合所以為不安定的狀態, 在常溫下會逐漸分解而成為氧分子。 臭氧也會因光、熱、水份、金屬、金屬氧化物以及其他的觸媒而加速其分解。臭氧在大氣中的半衰期zui多為50分鐘。將濃度高的臭氧打入水中時, 其半衰期則僅需20分鐘。水中雜質或PH質高時,在水中所殘留的臭氧其分解速度就會加速。空氣或水中的溫度或濕度高時, 臭氧的分解或還原作用, 亦會加速。臭氧存在於水中時，可與多數的有機物急速而強力地發生化學反應，因此，能除去水中化合物，或討人厭惡的味道、臭氣、顏色等，并發揮強力的殺菌效果。
蘇州開江氣體致力于配套臭氧發生器，利用單臺PSA工藝成功為東方希望集團母液水深度處理項目配套25kg臭氧發生器。
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